Các thành phần gốm cho ngành công nghiệp bán dẫn rộng lớn hơn

Khi sản xuất chất bán dẫn tiến tới kích thước nút nhỏ hơn và mật độ năng lượng cao hơn, môi trường quy trình đòi hỏi vật liệu có thể chịu được nhiệt độ cực cao, hóa học plasma phản ứng,và các tiêu chuẩn vệ sinh nghiêm ngặt. của chúng taCác thành phần gốm tiên tiếnđược thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của hệ sinh thái bán dẫn rộng lớn hơn, từ thiết bị chế tạo và chế biến wafer đầu cuối đến các hệ thống đóng gói và kiểm tra phía sau.

Cổ phiếu vật liệu

Chúng tôi cung cấp một lựa chọn toàn diện của gốm kỹ thuật hiệu suất cao phù hợp với các ứng dụng bán dẫn cụ thể:

• Aluminum Nitride ($AlN$): Khả năng dẫn nhiệt đặc biệt$170 sim 230 text{W/m}cdottext{K}$Lý tưởng cho các máy phân tán nhiệt, chuck điện tĩnh và chân máy sưởi.

• Silicon Carbide ($SiC$): Độ cứng cực kỳ, độ đàn hồi cao và khả năng chống sốc nhiệt vượt trội. Được sử dụng rộng rãi trong các thành phần phẳng hóa học cơ học (CMP), vòng cấu trúc,và ống khuếch tán nhiệt độ cao.

• Alumina tinh khiết cao ($Al_2O_3 gi 99,8%$): Sức mạnh điện môi tuyệt vời, khả năng chống xói mòn plasma cao và hiệu quả chi phí cho lớp lót buồng, vòng lấy nét và chất cách điện.

• Yttria ($Y_2O_3$) & Zirconia ổn định bằng Yttria ($YSZ$): Kháng chống ăn mòn plasma fluorine và clo mạnh mẽ, làm cho chúng trở thành vật liệu ưa thích cho các thành phần buồng khắc plasma.

Ưu điểm chính

1. Tăng khả năng chống xói hóa học và nhựa cao

Sự ổn định hóa học cao đảm bảo sự phân hủy tối thiểu khi tiếp xúc với khí khắc và lắng đọng hung hăng ($F_2$,$Cl_2$,$NF_3$,$O_2$plasma), làm giảm đáng kể sự ô nhiễm hạt trong buồng và kéo dài khoảng thời gian thay thế thành phần.

2. Độ ổn định nhiệt độ cao và sốc nhiệt

Duy trì tính toàn vẹn cơ học, ổn định kích thước và hệ số mở rộng nhiệt thấp ở nhiệt độ vượt quá1000°C, cho phép hiệu suất đáng tin cậy trong môi trường xử lý nhiệt nhanh (RTP) và CVD.

3. Các đặc tính cực sạch và khí thải thấp

Sản xuất trong điều kiện phòng sạch nghiêm ngặt để loại bỏ các tạp chất kim loại và các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC),đảm bảo tính tương thích đầy đủ với các tiêu chuẩn chế biến chân không cao và cực sạch.

4. Độ khoan độ chính xác & kết thúc bề mặt gương

Sử dụng nghiền kim cương đa trục, gia công siêu âm và đánh bóng tiên tiến, các thành phần được hoàn thành với độ khoan dung cấp vi ($le pm 0.001 text{mm}$) và độ thô của bề mặt đánh bóng gương ($ Ra le 0.01 mutext{m}$)

Ứng dụng trên toàn chuỗi giá trị bán dẫn