AIN Bộ sưởi gốm kỹ thuật Các bộ phận gốm nâng cấp hệ thống sưởi năng lượng tiết kiệm

Máy sưởi gốm AIN

Aluminium nitride là một vật liệu đa chức năng thường được sử dụng trong các kịch bản đòi hỏi độ dẫn nhiệt cao và cách điện.Khả năng độc đáo này làm cho AIN trở thành sự lựa chọn lý tưởng cho quá trình sưởi ấm nhanh chóng và phân tán nhiệtVí dụ như máy sưởi gốm nitride nhôm, khay wafer gốm nitride nhôm / bàn chuck gốm, vv

Ứng dụng

bán dẫn: ESC, khắc, CVD, máy đánh bóng;
Thiết bị y tế: sưởi ấm và bột;
Các loại khác: được sử dụng trong các kịch bản khác đòi hỏi tốc độ sưởi ấm nhanh và đồng nhất nhiệt độ tốt.

Độ dẫn nhiệt: gấp 10 lần so với gốm nhôm. Tốc độ sưởi nóng nhanh: có thể đạt 600.C trong vòng 6 giây ở nhiệt độ môi trường xung quanh 25.c. Với sự đồng nhất nhiệt độ tốt:Sự khác biệt nhiệt độ trong phạm vi ± 5.
Sức mạnh: Sức mạnh kết cấu 310-350 MPa. Khó: HRA 89. Kháng thể tích: > 1013 O.cm.
Sự ổn định: Điểm nóng chảy của gốm nitrure nhôm là 2450.C và nó có sự ổn định tốt trong bầu không khí không oxy hóa ở nhiệt độ cao trong vòng 2000.
Hằng số điện môi tuyệt vời và mất điện môi thấp.