Khay CMP Silicon Carbide

• CMP (Chemical Mechanical Polish) trong sản xuất chip LED, tức là quy trình đánh bóng cơ học hóa học.

• Dẫn nhiệt tốt, hệ số giãn nở thấp và nhiệt độ đồng đều.
• So với khay corundum truyền thống, thời gian làm nóng và làm lạnh tải và dỡ tải được rút ngắn, và nâng cao hiệu quả làm việc.Đồng thời, nó có thể giảm mài mòn giữa các tấm trên và dưới, duy trì độ chính xác của mặt phẳng tốt và kéo dài tuổi thọ khoảng 40%.
• Vật liệu có trọng lượng riêng nhỏ và trọng lượng nhẹ, giúp người vận hành di chuyển khay vận chuyển dễ dàng hơn, giảm nguy cơ hư hỏng do va chạm do vận chuyển khó khăn khoảng 20%.

• Có thể gia công theo bản vẽ của khách hàng, kích thước tối đa: đường kính 500mm, độ phẳng: 0,003mm trong.

Khay silicon cacbua CMP