Với việc triển khai mang tính cấu trúc của Đạo luật Chip Châu Âu và các sáng kiến tổng thể không có carbon do EU thúc đẩy, các nhà sản xuất tấm wafer và OEM thiết bị bán dẫn tiên tiến của Châu Âu không chỉ đơn thuần theo đuổi quy mô in thạch bản thế hệ tiếp theo—họ đang ưu tiênQuá trình khử cacbonnhư một cột mốc cốt lõi. Sản xuất wafer mặt trước được đặc trưng bởi mật độ năng lượng lớn, với quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD), khắc plasma (Etch) và Xử lý nhiệt nhanh (RTP) tiêu thụ một lượng lớn điện lưới.Gốm thủy tinh gia công Macor®, được hỗ trợ bởi khả năng dẫn nhiệt thấp đặc biệt và quy trình chế tạo linh hoạt, không chứa chất kết dính, đã nổi lên như một chất nền xử lý ít carbon quan trọng giúp các nhà máy Châu Âu tái thiết kế các tổ hợp buồng hiệu suất cao để cắt giảm lượng khí thải năng lượng trong quá trình xử lý.
Môi trường phản ứng bán dẫn mặt trước áp đặt các ranh giới nghiêm ngặt về độ tinh khiết của vật liệu, tuy nhiên gốm kỹ thuật cũ thường đưa chất thải năng lượng nghiêm trọng vào dây chuyền sản xuất:
Tản nhiệt không được quản lý ở ranh giới buồng: Trong các nút RTP nhiệt độ cao hoặc các lò khuếch tán thẳng đứng hoạt động ở nhiệt độ hàng trăm độ C, khả năng cách ly dưới mức tối ưu trong các chất mang nền bên trong cho phép năng lượng nhiệt đáng kể truyền ra ngoài tới phần cứng kim loại phụ trợ. Điều này buộc các mảng sưởi ấm điện áp cao phải hoạt động trong tình trạng quá tải liên tục, làm tăng lượng phát thải năng lượng gián tiếp Phạm vi 2.
Cấm "Carbon nhúng" bên trong các thành phần có nguồn gốc: Việc chế tạo ngược dòng các vật liệu tiêu hao Alumina, Thạch anh hoặc Silicon Carbide số lượng lớn tiêu chuẩn đòi hỏi một chuỗi nung kéo dài nhiều giờ, tiêu tốn nhiều năng lượng tại các lò nung chuyên dụng ở xa. Theo khuôn khổ kiểm toán carbon chuỗi cung ứng đang tăng tốc của Châu Âu, việc mua các bộ phận chứa đầy carbon xử lý nhiệt cao sẽ làm tăng đáng kể chi phí môi trường của công ty.
Cấu trúc vật liệu của Macor® dựa trên một mạng lưới lồng vào nhau vô cơ bao gồm 55% tiểu cầu mica fluorophlogopite xen kẽ trong 45% thủy tinh borosilicate. Công thức tinh khiết tự nhiên, không chứa chất kết dính này phù hợp hoàn hảo với các tiêu chuẩn về ô nhiễm vi mô trong phòng sạch và các mục tiêu giảm lượng carbon.
Thiết lập một sự phá vỡ nhiệt nhiệt động tuyệt đối: Macor® có độ dẫn nhiệt đặc biệt thấp chỉ ở mức1,46 W/m·K, thấp hơn rất nhiều so với kim loại hoặc gốm sứ có kết cấu tiên tiến. Khi được tích hợp dưới dạng mô-đun ngắt nhiệt—chẳng hạn như vòng đệm cách ly cho tấm phân phối khí hoặc mâm cặp tĩnh điện (ESC)—nó sẽ hạn chế nhiệt bức xạ một cách an toàn đến vùng xử lý tấm bán dẫn quan trọng, làm giảm sự tiêu hao năng lượng trên các thiết bị làm lạnh làm mát bằng nước buồng bên ngoài.
Gia công sàn nhà xưởng không sử dụng thiêu kết Nguồn phát thải: Bước đột phá trong sản xuất chính của Macor® tập trung vào tính linh hoạt khi cắt giống như polyme bằng cách sử dụng máy phay CNC tại chỗ tiêu chuẩn và máy cắt cacbua. Vì nó thể hiệnĐộ co ngót sau gia công 0%, kích thước giữ nguyên hoàn hảo sau khi hoàn thành cắt,hoàn toàn bỏ qua các giai đoạn nung lại thứ cấp có công suất cao vốn có của gốm kỹ thuật truyền thốngvà cho phép thiết lập nguồn cung ứng tinh gọn, linh hoạt.
Đối với các kỹ sư quy trình Châu Âu quản lý ma trận mua sắm xanh, các thông số hiệu suất được tiêu chuẩn hóa của Macor® cung cấp khả năng xác minh dữ liệu rõ ràng cho các dây chuyền sản xuất ít carbon:
Quản lý nhiệt (1,46 W/m·K): Đóng vai trò như một rào cản nhiệt tối ưu bên trong buồng xử lý, giảm mức tiêu thụ điện năng phụ trợ trong các bước chu kỳ nhiệt dài.
Độ bền nhiệt (800°C liên tục): Duy trì khả năng chịu tải mạnh mẽ và không bị biến dạng cấu trúc, thoải mái xử lý các đường dốc nhiệt độ nhanh và quá trình thanh lọc dữ dội.
Tính toàn vẹn chân không (độ xốp 0%): Ngăn chặn sự kẹt khí trong kết cấu để đảm bảolượng khí thoát ra không đáng kể với lượng hợp chất dễ bay hơi bằng khôngdưới đường cơ sở chân không cực cao (UHV), bảo toàn các số liệu lắng đọng nguyên sơ.
Tuân thủ hóa chất: Được chế tạo hoàn toàn từ vật liệu vô cơ phi kim loại, đáp ứng các khuôn khổ tuân thủ RoHS/REACH để loại trừ nguy cơ ô nhiễm ion kim loại trên các tấm bán dẫn của sản phẩm.
Để nắm bắt được lợi tức vật liệu tiên tiến và nâng cao việc giảm lượng carbon trên các công cụ xử lý đầu cuối, các nhóm xử lý tấm bán dẫn và người quản lý cơ sở nên áp dụng khung vật liệu sau:
Nâng cấp Shunt nhiệt và bộ cách ly kết cấu: Trong các cụm phụ ủ laze chuyên dụng hoặc đầu lắng đọng hơi tự động, hãy thay thế các vòng kim loại hoặc thạch anh có độ dẫn điện cao bằng Macor® được gia công tùy chỉnh. Tận dụng độ bền điện môi cao kết hợp của nó (45 kV/mm) và ma trận cách nhiệt để cắt đứt các hành lang vật lý tản nhiệt hướng tới các cánh tay robot đa trục chủ động phụ trợ.
Chuyển đổi sang các trung tâm tồn kho thô tại chỗ cho hoạt động hậu cần linh hoạt: Thay thế việc mua sắm lẻ tẻ, theo từng dự án các hình dạng gốm tùy chỉnh có hàm lượng carbon cao, chì dài bằng việc duy trì hàng tồn kho cục bộ dành riêng cho các thanh và tấm Macor® phổ thông. Quy trình làm việc "Thô + CNC địa phương" này đồng thời làm giảm việc ghi sổ carbon trong chuỗi cung ứng của công ty và rủi ro về thời gian ngừng hoạt động đột xuất bằng cách cho phép các bộ phận thay thế ngay lập tức, theo yêu cầu.
Sự hợp nhất nguyên khối của các tính năng phức tạp của buồng bên trong: Tận dụng khả năng của Macor® để duy trì các bức tường mỏng đến mứcđộ dày tối thiểu 0,5 mmvà sạch sẽchủ đề nội bộ (Khai thác). Tái thiết kế các cấu hình cố định nhiều mảnh kế thừa (như chốt thép kết hợp, miếng đệm tổng hợp và ủng gốm tiêu chuẩn) thành một khối Macor® nguyên khối, thống nhất. Điều này hạn chế một cách có hệ thống các lỗi xếp chồng cơ học tích lũy trong khi vẫn đảm bảo sự cố nhanh chóng, không cần dụng cụ và tái chế vật liệu chính xác khi nền tảng ngừng hoạt động.
Người liên hệ: Daniel
Tel: 18003718225
Fax: 86-0371-6572-0196
Vietnamese
