Trong thiết kế hệ thống chân không cực cao (UHV) và chân không cực cao (XHV), vật liệuxả khílà rào cản chính để duy trì mức chân không cuối cùng. Bất kỳ dấu vết phát hành khí bay hơi nào cũng có thể gây ra sự bất ổn huyết tương hoặc gây ô nhiễm lớp phủ quang học chính xác.Macor® Glass Ceramic có thể chế biến, thông qua sự tiến bộ độc đáo của nó trong công nghệ "Zero Porosity", cung cấp cho các kỹ sư chân không một vật liệu lý tưởng cân bằng hiệu suất gốm với tỷ lệ thải khí thấp đặc biệt.
Ở mức độ vi mô, hầu hết các vật liệu công nghiệp không hoàn toàn dày đặc.
Hiệu ứng bẫy: Vật gốm và polymer thông thường thường chứa các lỗ chân lông có kích thước micron hoạt động như "bẫy" cho các phân tử nước, hydrocarbon và khí khí quyển.
Quá trình thải khí: Trong quá trình bơm xuống, các khí bị mắc kẹt này lan ra bề mặt từ từ thông qua các kênh vi mô và được giải phóng vào buồng, tạo ra "sự rò rỉ ảo" liên tục.
Tiến bộ của Macor®: Thông qua sự tích hợp chính xác các tiểu cầu mica fluorophlogopite tinh thể cao trong một ma trận thủy tinh, Macor® đạt được0% độ xốpĐiều này có nghĩa là không có không gian bên trong để bẫy khí, về cơ bản loại bỏ nguy cơ thải khí hàng loạt.
Đối với lựa chọn vật liệu B2B, tính tương thích chân không phải được xác nhận bằng các thông số kỹ thuật. Hiệu suất của Macor® trong điều kiện UHV được hỗ trợ bởi các dữ liệu sau:
Không có lỗ chân lông (0%): Bảo đảm không thấm hoặc bị mắc kẹt, tạo điều kiện giảm nhanh đến áp suất UHV.
Độ thấm heli (<$10^10$cc/s): Cung cấp một con dấu hermetic vượt trội cho các vỏ và máy dò chân không cao.
Độ bền nướng (800°C): Cho phép các chu kỳ nướng nhiệt độ cao để loại bỏ chất hấp thụ bề mặt mà không bị suy thoái cấu trúc.
Sự trơ trệ hóa học: Một thành phần vô cơ, không từ tính đảm bảo không phân hủy hoặc ô nhiễm kim loại dưới áp lực chân không.
Được thúc đẩy bởi kiểm soát khí thải của nó, Macor® là không thể thiếu trong các ngành công nghiệp tinh khiết quan trọng:
Cấy ghép ion bán dẫn: Trong môi trường chùm ion cường độ cao, các hỗ trợ Macor® không giải phóng tạp chất dưới áp lực nhiệt, bảo vệ độ tinh khiết hóa học của wafer.
Nguồn ánh sáng Synchrotron: Được sử dụng cho các thiết bị gắn quang, bản chất không từ tính và sự ổn định chân không của nó duy trì sự sắp xếp các đường chùm với độ chính xác micrometer.
Phản hồi chân không: Là một chất cách ly đa chân, sự kết hợp của nó45 kV/mmĐộ bền điện môi và độ xốp 0% tạo ra sự cân bằng hoàn hảo giữa truyền điện và niêm phong kín.
Đối với các nhà tích hợp hệ thống chân không trên toàn cầu, giá trị của Macor® có thể được đánh giá thông qua những lợi thế chiến lược sau:
Chu kỳ nướng ngắn hơn: Bởi vì vật liệu không hấp thụ các chất gây ô nhiễm lớn, thời gian cần thiết để đạt được chân không cuối cùng được giảm đáng kể so với các lựa chọn thay thế xốp.
Sản xuất nội bộ các thành phần phức tạp: Các bộ phận bên trong buồng chân không thường đòi hỏi các hình học phức tạp.Khả năng gia công của Macor® cho phép các kỹ sư chế tạo các bộ phận với các sợi chính xác và lỗ thông hơi (để ngăn chặn khí bị mắc kẹt trong lỗ mù) bằng cách sử dụng các công cụ cửa hàng tiêu chuẩn.
Sự ổn định vòng đời: Ở nhiệt độ hoạt động lên đến800°C, Macor® duy trì kích thước nhất quán, ngăn ngừa sự cố niêm phong do căng thẳng gây ra bởi sự giãn nở nhiệt phổ biến trong các vật liệu cách nhiệt khác.
Người liên hệ: Daniel
Tel: 18003718225
Fax: 86-0371-6572-0196