Với việc triển khai Chỉ thị Phát thải Công nghiệp (IED) sửa đổi, các quy định về môi trường của Châu Âu đối với chế tạo chất bán dẫn, xử lý bề mặt chính xác và thiết bị công nghiệp chân không cao đã chuyển từ xử lý cuối đường ống sang ngăn ngừa ô nhiễm tại nguồn và kiểm tra Kỹ thuật sẵn có tốt nhất (BAT). IED đặt ra các ngưỡng tuân thủ pháp luật nghiêm ngặt liên quan đếnphát thải hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC), phát thải khí độc hại và quản lý chất thải quy trình. Trong môi trường chân không cực cao (UHV), khắc plasma ở nhiệt độ cao và môi trường lắng đọng hơi hóa học (CVD), các polyme truyền thống và các tổ hợp liên kết bằng chất kết dính phân hủy để giải phóng VOC, trong khi gốm thiêu kết truyền thống có nguy cơ tạo ra các hạt.Gốm thủy tinh gia công Macor®, được thiết kế dưới dạng chất nền vô cơ sạch 100%, không có độ xốp với khả năng gia công không cần thiêu kết, cung cấp cho các OEM toàn cầu một giải pháp chiến lược để tối ưu hóa việc kiểm soát ô nhiễm trong buồng và tuân thủ kiểm tra IED.
Theo quy trình kiểm tra BAT nghiêm ngặt và khuôn khổ giải trình trách nhiệm phát thải nghiêm ngặt do IED bắt buộc, các tài liệu của phòng nội bộ tiết lộ các lỗ hổng tuân thủ nghiêm trọng:
Rủi ro thoát nhiệt của polyme và phát thải VOC: Các polyme hiệu suất cao (ví dụ: PTFE, PEEK) và keo hữu cơ trải qua quá trình phân hủy vi mô trong trạng thái chân không nhiệt, phát ra vết VOC và khí flo. Điều này làm giảm hiệu suất bán dẫn và vi phạm giới hạn IED về phát thải khí nguồn công nghiệp.
Rủi ro phát sinh hạt và chất thải công nghiệp của gốm sứ truyền thống: Gốm thiêu kết thông thường như alumina thường biểu hiện độ xốp vi mô trên bề mặt hoặc ứng suất bên trong, dẫn đến hiện tượng bong tróc hạt khi bắn phá plasma. Điều này làm tăng tần suất làm sạch buồng và tạo ra chất thải rắn công nghiệp.
Macor® có cấu trúc vi mô vô cơ độc đáo bao gồm 55% tiểu cầu mica fluorophlogopite được nhúng trong ma trận thủy tinh borosilicate 45%. Với mật độ dày đặc hoàn toàn, nó trực tiếp phù hợp với các nguyên tắc ngăn ngừa ô nhiễm IED:
Ma trận vô cơ nguyên chất 100% đảm bảo không phát thải VOC: Là chất cách điện vô cơ hoàn toàn đậm đặc vớiĐánh giá độ xốp hóa học 0%, Macor® cung cấp độ bền điện môi của45 kV/mmcùng với trần nhiệt liên tục lên đến800°C. Nó mang lạikhông thải khí và không có VOCtrong điều kiện chân không có nhiệt độ cao, đảm bảo tuân thủ tự nhiên các giới hạn phát thải khí IED.
Độ co ngót sau gia công là 0% và tạo ren bên trong trực tiếp giúp giảm chất thải rắn: Macor® có thể được gia công trực tiếp bằng thiết bị CNC tiêu chuẩn với độ chính xác ở mức micron vớiĐộ co ngót sau gia công 0% (Không thiêu kết). Cấu trúc dày đặc của nó ngăn ngừa sự bong tróc hạt và cho phépluồng nội bộ trực tiếp (Tapping)để thay thế chất kết dính, giảm lãng phí quá trình trong quá trình bảo trì.
Đối với các giám đốc mua sắm và nhân viên tuân thủ môi trường biên soạn hồ sơ tuân thủ IED BAT, các đặc tính vật lý đã được xác minh của Macor® đưa ra lời giải thích rõ ràng:
| Vectơ đánh giá IED | Chỉ số kỹ thuật cốt lõi của Macor® | Cổ tức tuân thủ theo kiểm toán môi trường của EU |
| Nguồn Kiểm soát phát thải VOC | 100% vô cơ nguyên chất / 0% độ xốp | Năng suấtkhông có VOC và không thoát khítrong chân không; tuân thủ các giới hạn phát thải nhất thời của IED. |
| Giảm thiểu hạt và chất thải | Cấu trúc vi mô dày đặc / Độ rụng hạt thấp | Ngăn ngừa bong tróc dưới plasma nhiệt; kéo dài thời gian bảo trì buồng và cắt giảm chất thải rắn. |
| Tích hợp cơ học thuần túy | Luồng nội bộ trực tiếp (Khai thác) | Thay thế chất kết dính hóa học bằng ốc vít cơ học, cho phép quy trình bảo trì sạch hơn. |
| Phát thải từ sản xuất thượng nguồn | Độ co 0% / Không thiêu kết | Loại bỏ việc nung lại gốm công suất cao thứ cấp, cắt giảm mức tiêu thụ năng lượng trong quá trình sản xuất. |
Người liên hệ: Daniel
Tel: 18003718225
Fax: 86-0371-6572-0196
Vietnamese
